Precisión a nivel micrométrico: husillos de bolas de alta precisión para la fabricación de semiconductores
En la fabricación de semiconductores, unos pocos micrómetros deciden entre una pieza buena o un rechazo. Las soluciones de accionamiento clásicas alcanzan rápidamente sus límites - por ejemplo, debido al juego mecánico, un funcionamiento irregular o las variaciones de temperatura. Los husillos de bolas de alta precisión I&F de GROB ofrecen una solución comprobada para esto: asumen el posicionamiento altamente dinámico y repetible de wafers y máscaras en equipos de exposición, inspección o montaje.
Husillos de bolas de alta precisión
Alta precisión y confiabilidad para equipos sensibles de semiconductores
Gracias a los husillos rectificados, las tolerancias estrechas y las tuercas con pretensión opcional, es posible reducir significativamente el juego de inversión y los errores de posicionamiento. Para el ingeniero de diseño, esto significa cumplir de forma confiable requisitos claramente definidos, como una repetibilidad extremadamente alta, mínimo juego mecánico y condiciones de proceso estables. Debido a su alta suavidad de movimiento, baja fricción y larga vida útil, estos husillos de bolas son ideales para aplicaciones en salas limpias con altas frecuencias de ciclo. Además, con protocolos de medición, calidad comprobada y asesoría personalizada, somos su socio confiable - especialmente en equipos sensibles para la microelectrónica.